Robots Stäubli en la producción de semiconductores

Fabmatics, un experimentado especialista en automatización con sede en Dresde, ofrece la solución perfecta para el almacenamiento de obleas de silicio en condiciones de sala blanca. Un robot Stäubli de seis ejes con la especificación Super Cleanroom forma parte del paquete.

Tarea: Almacenamiento de obleas de silicio asistido por robot
Una empresa especializada en satisfacer las necesidades de automatización de la industria de semiconductores ha diseñado un concepto impresionante para el almacenamiento provisional de obleas en condiciones de sala blanca. Dentro de este innovador sistema, un robot de sala blanca Stäubli realiza complejas tareas de manipulación.
Las dimensiones de los semiconductores en la superficie de una oblea de silicio normalmente se miden en nanómetros. En estas circunstancias, está claro que cualquier partícula extraña, por pequeña que sea, puede perjudicar el funcionamiento del microchip. Por este motivo, los aproximadamente 100 pasos individuales de producción se llevan a cabo en una sala limpia.
Cuando las obleas deben almacenarse temporalmente, también deben mantenerse en condiciones de sala blanca. Aquí es donde entra en juego el CubeStocker de Fabmatics. En el corazón del sistema se encuentra un Stäubli Super Cleanroom TX2-90XL montado en un pórtico de doble eje que maneja el almacenamiento y la recuperación con eficiencia suave y sin contaminación.

Solución un dos en uno: buffer intermedio o sistema de almacenamiento para obleas de prueba
CubeStocker es un sistema de almacenamiento totalmente automatizado para los soportes en los que se transportan y almacenan las obleas (capacidad máxima 25). Un CubeStocker tiene capacidad para 200 soportes. Un sistema de transporte que recorre el techo de la sala blanca introduce y saca automáticamente los transportadores de los distintos lugares de almacenamiento de la unidad de almacenamiento.
La particularidad del CubeStocker utilizado en este proyecto es que funciona en su propia atmósfera de sala blanca ISO 3. De este modo, las obleas se almacenan temporalmente en condiciones absolutamente limpias antes del siguiente paso de procesamiento o entre ciclos de prueba, sin ningún riesgo de contaminación.